FFU全稱為 Fan Filter Units, 中文意思為“風(fēng)機濾網(wǎng)單元”。確切地說是一種自帶動力、具有過濾功效的模塊化的末端送風(fēng)裝置。風(fēng)機從FFU頂部將空氣吸入并經(jīng)HEPA過濾，過濾后的潔凈空氣在整個出風(fēng)面以0.45m/s±20%的風(fēng)速均勻送出。

　　該機組設(shè)計整體靈活，便于與專用型吊頂骨架以及其他一些合適的骨架配合使用。它適合用于半導(dǎo)體、電子、平板顯示器和磁盤驅(qū)動器的廠家及光學(xué)、生物工業(yè)及其他對空氣中污染有嚴格控制要求的地方。

　　FFU選型的要點：

　　FFU 的主要參數(shù)：尺寸(mm)，面風(fēng)速(m/s)，機外余壓(Pa)，噪音(dBA)，功耗(W)，振動(mm/s)，壽命(hours)等。

　　◆尺寸-目前，國內(nèi)、外常用的模數(shù)有1200X600mm(4英尺X2英尺)、1200X900mm(4英尺X 3英尺)、1200X 1200mm(4英尺X4英尺)、其厚度多在300-400mm。

　　◆材質(zhì)-根據(jù)使用環(huán)境及成本選擇，目前常用鍍鋁鋅材質(zhì)，能滿足潔凈室的環(huán)境需求(防腐蝕)且成本低；

　　◆風(fēng)量或風(fēng)速-根據(jù)換氣量及尺寸換算出面風(fēng)速，一般范圍在0.3~0.45m/s；

　　◆靜壓-根據(jù)過濾器規(guī)格及風(fēng)道的結(jié)構(gòu)阻力。 FFU 的機外余壓都是足以克服循環(huán)通道上的阻力。當(dāng) 過濾器 為初阻力，且保證FFU送風(fēng)斷面風(fēng)速為0.35m/s時，不同 FFU 的機外余壓均在100Pa左右，有的高達130Pa。

　　◆濾網(wǎng)-應(yīng)不同制程需求，常用到H13,H14,U15和U16甚至U17的過濾器(歐規(guī))，有時應(yīng)生產(chǎn)工藝的需求會要求采用低硼的材料，以進口品居多。

　　◆馬達-AC(交流電)和DC(直流電)兩種。一般來講Class 1000~100,000的潔凈室常用ACFFU，而潔凈度較高區(qū)域則用DC FFU。就是因為高等級潔凈室對于溫濕度要求更為嚴格，采有DC FFU 就能應(yīng)用軟件控制，精確度較高。對于FFU的控制系統(tǒng)在下面另闡述。

　　◆振動-一般是符合德規(guī)G2.5標準，因為微振動的控制對于生產(chǎn)工藝非常重要。

　　◆噪音-一般設(shè)定為54dB(A)@1.5m，即距 過濾器 下表面1.5m處噪音值小于54dB(A)。FFU的聲壓級噪聲大多在57dB(A)～59dB(A)之間。比較好的品牌其噪聲在50dB(A)。

　　◆絕緣等級-一般為Class E,B或F。

　　◆軸承壽命-一般為L10≧40,000hours,即10%的軸承損壞的最大使用時間不小于40,000hours。

　　◆能效比-耗電量與風(fēng)量的比值，級效比值越低越節(jié)能